高純氣體系統(tǒng)首選金屬材料：不銹鋼材料

不銹鋼材料因其抗腐蝕和抗氧化性能成為高純氣體系統(tǒng)首選的材料。316L 不銹鋼因能抵抗焊接或應力釋放后的晶間腐蝕最為通用。為保證流體產(chǎn)品的性能，材料成分含量和雜質(zhì)控制是關(guān)鍵因素之一，直接影響流體產(chǎn)品加工后的延展性、抗腐蝕性能和焊接后性能。

1. 鉻 Cr - 抗氧化性，抗腐蝕性高的鉻 Cr 含量，能保證不銹鋼表面形成氧化鉻層厚度并提高抗腐蝕性能。

2. 鎳 Ni - 穩(wěn)定奧氏體結(jié)構(gòu)，延展性高的鎳 Ni 含量，能穩(wěn)定奧氏體結(jié)構(gòu)，保證不銹鋼在更寬的溫度范圍和不同的流體介質(zhì)中的延展性。

3. 碳 C - 晶間腐蝕，碳化物低的碳 C 含量，能防止晶間腐蝕，同時防止在焊接后碳化物的析出。

4. 硫 S - 焊接性能，硫化物低的硫 S 含量，同時材料中硫 S 含量在窄的變化范圍內(nèi)，才能保證優(yōu)質(zhì)的焊縫形狀，既沒有凹陷也沒有凸起，在焊接內(nèi)壁形成真正的完全焊透，是高純應用的必然要求。一致的半導體級焊接質(zhì)量才能滿足半導體工程建設的高效高質(zhì)生產(chǎn)施工。